EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Мек филц с висока чистота
Високочистият мек филц на Semixlab е специално разработен за взискателни приложения с високотемпературни термични полета в производството на полупроводници. Произведен от висококачествени въглеродни прекурсори и пречистен чрез усъвършенствана обработка, този мек филц осигурява ултраниски нива на примеси, отлична топлоизолация и изключителна структурна адаптивност. Гъвкавата му структура позволява прецизно напасване в сложни термични полеви конструкции, което позволява оптимизирани температурни градиенти и стабилни условия на процеса. Очакваме с нетърпение вашето запитване.
Описание
Защо чистотата е важна в термичните полета? При производството на трето поколение?
Полупроводници (SiC/GaN), традиционните изолационни филцове с високо съдържание на пепел (над 500 ppm) са склонни да отделят метални примеси при температури над 1600°C. Това причинява дефекти в решетката и намалява добива на пластини.
Мекият филц на Semixlab преминава през нашия ексклузивен процес на химическо пречистване при висока температура, като по този начин общото ниво на примеси се намалява до по-малко от 5 ppm. Това не само осигурява чиста среда за растеж, но и осигурява изключителната термична стабилност, необходима за дългоцикличен растеж на кристали.
Semixlab Edge
Ние сме повече от доставчик — ние сме вашият партньор за високотемпературни зони. Основани от изследователи на CAS, ние се отличаваме с комбинирането на изолационни решения с CVD покрития (TaC/SiC). Ние не просто доставяме изолационен филц; ние оптимизираме цялото ви термично поле, използвайки графитни нагреватели и порест TaC, за да намалим консумацията на енергия. Нашата собствена 5-осна CNC обработка позволява персонализирани, предварително сглобени комплекти, които точно съответстват на дизайна на вашата пещ с нулеви грешки.
Характеристики
| Имоти | Висококачествен филц на базата на PAN | Висококачествен филц на вискозна основа |
| Общи примеси | ≤5 ppm (GDMS) | ≤10 ppm |
| Съдържание на въглерод | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Обемна плътност | 0.10 - 0.15 g/cm³ | 0.08 - 0.12 g/cm³ |
| Термопроводимост (@1000°C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09 - 0.13 W/m²·K |
| Максимална работна температура. | 2800°C (инертна среда/вакуум) | 2600°C (инертна среда/вакуум) |
| Стандартна дебелина | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm | 3mm / 5mm / 10mm / 20mm |
Приложения
Критични приложения
Доказана в полеви условия производителност:
Проектиран за растеж на SiC и силиций (PVT/CZ), нашият филц действа като термичен стабилизатор за потискане на кристалните дислокации. При MOCVD/епитаксия (съвместим с Aixtron, NuFlare), той остава инертен при корозивни потоци от H2/NH3, блокирайки дифузията на примеси. За изтегляне на влакна и сапфирено синтероване, свойството му да не отделя газове осигурява целостта на вакуума и предотвратява загубата на добив.
конкурентно предимство
Основни предимства
Ултрависока чистота (<5ppm), тествана чрез GDMS. Строго контролирани Al, B, Fe и други ключови примеси, за да се избегне кръстосано замърсяване при епитаксиален растеж.
Отлична топлоизолация: топлопроводимост от едва 0.12 W/m·K при 1000°C, намаляваща топлинните загуби и контролираща термичния градиент в рамките на ±1°C.
Ниско отделяне на частици: Оптимизираната обработка на влакната и повърхността намалява праха във вакуумните цикли, предпазвайки графитните CVD (TaC/SiC) токоприемници и нагреватели.
Висока гъвкавост и прилягане: мека и свиваема за 360° безшевно обвиване на сложни пещи, предотвратявайки топлинни течове от твърда изолация.
Често задавани въпроси
Оптимизирани ЧЗВ
В: Как мекият филц Semixlab подобрява експлоатационния живот на графитните нагреватели?
A: Чрез осигуряване на по-стабилен термичен щит, нашият мек филц намалява мощността, необходима на нагревателя за поддържане на целевите температури, като по този начин забавя сублимацията на въглерода и окисляването на графитните нагревателни елементи.
В: Може ли вашият филц да се използва в среда с висок дебит на газ?
A: Да. За процеси с висока скорост на газа (като MOCVD), препоръчваме нашия филц с висока плътност на базата на PAN или хибридно решение с графитно фолио, което предотвратява ерозията на влакната и гарантира нулево замърсяване с частици.
нашите услуги
