Кварцови части

Кварцът все още е навсякъде в обработката на полупроводници. Не е нов, но е надежден и повечето фабрики са запознати с неговото поведение. Стига чистотата му да е контролирана, той работи добре в етапите на дифузия, окисление и почистване.

Много кварцови части се влагат в пещни системи или PECVD инструменти. Основното очакване е стабилност - не непременно дълъг живот, а предвидима производителност. Това обикновено е достатъчно за много стандартни процеси.

Разбира се, кварцът има своите ограничения. Той може да се износва по-бързо при определени условия, особено в сравнение със SiC. Но тъй като е сравнително лесен за намиране и не е твърде скъп, хората все още го използват доста често.