EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Полупроводникова кварцова вафлена лодка
Бърз детайл:
1. Други имена: Полупроводников кварцов резервоар, кварцова вана за полупроводници, кварцов резервоар за полупроводници.
2. Приложение: Полупроводниковата кварцова вафлена лодка за високотемпературни процеси като дифузия, окисление, CVD, отгряване и др. в производството на полупроводници.
3. Основни параметри:
Кварц с ултрависока чистота (>99.99% SiO₂): избягва замърсяване с метални йони (Na+, K+, Fe³+ и др.) и отговаря на изискванията за чистота на съвременните процеси (<5nm възли).
Устойчивост на висока температура: непрекъсната работна температура 1200℃, моментна температурна устойчивост 1300℃.
Химически инертен: Устойчив на технологични газове като HCl, H₂, O₂, SiH₄ и киселинни/алкални среди. Некорозивен за дългосрочна употреба.
Описание
Кварцовите лодки за пластини Semixlab Semiconductor са ключови инструменти за лагеруване, предназначени за високотемпературни процеси като дифузия, окисление, CVD, отгряване и др. в производството на полупроводници. Изработени от високочист синтетичен кварц с отлична устойчивост на високи температури, химическа стабилност и нисък коефициент на термично разширение, те могат стабилно да носят пластини в тежки технологични среди, за да гарантират постоянство на процеса и добив на продукта.
Приложимо оборудване: Съвместимо с всички видове хоризонтални/вертикални дифузионни пещи (хоризонтална/вертикална дифузионна пещ), LPCVD система и оборудване за бърза термична обработка (RTP).
Осигуряване на качеството
Строг контрол на качеството: 100% откриване на течове с хелиева масспектрометрия (скорост на теч <1×10⁻⁹ mbar·L/s). За всяка партида се издава доклад за чистота на материала (ICP-MS тест).
Стандарти за сертифициране: В съответствие със спецификациите SEMI F47, чрез сертифициране по система за управление на качеството ISO 9001:2015.
Срок на експлоатация: средният срок на експлоатация при нормални условия е повече от 2 години (в зависимост от честотата на процеса и температурните условия).
Защо да изберете нашата кварцова лодка?
Персонализирани услуги: Персонализирани размери и конструкция според модела на оборудването (TEL, Kokusai, ASM и др.) и изискванията на процеса.
Бърза реакция: Стандартното време за доставка е 3 седмици, спешните поръчки могат да бъдат намалени до 10 работни дни.
Глобална сервизна мрежа: Предоставя технически съвети, насоки за монтаж и следпродажбено обслужване. Спецификации на материалите.
Характеристики
Спецификация на проекта
Синтез на материали от разтопен кварц
Чистота ≥99.99% SiO₂
Съвместимост с размер на вафлата 8", 12" (може да се персонализира с 6" или 18")
Работна температура ≤1200°C (непрекъснато) / 1300°C (пиково)
Коефициент на термично разширение (КТР) 0.55×10⁻⁶/°C (20-1000°C)
Грапавост на повърхността (Ra) ≤0.2 μm
Стандартен капацитет 25/50/100 таблетки
Приложими технологични газове O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl и др.
| Механично свойство | Плътност (g/cm3) | 2.2 |
| Твърдост по Мос | 6-7 | |
| Якост на натиск (MPa) | 1100 | |
| Якост на опън (N/mm2) | 50 | |
| Якост на огъване (N/mm2) | 65 | |
| Якост на усукване (N/mm2) | 30 | |
| Модул на Юнг (MPa) | 7.2x104 | |
| Отношението на Поасон | 0.16 | |
| Топлинни свойства | Коефициент на термично разширение (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Топлопроводимост (20℃, W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Специфична топлина (20℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Точка на омекване (℃) | 1700 | |
| Точка на отгряване (℃) | 1180 | |
| Точка на опън (℃) | 1080 | |
| Електрическа собственост | Електрическо съпротивление (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Диелектрична константа (10 GHz) | 3.74 | |
| Диелектрични загуби (10 GHz) | 0.0002 | |
| Диелектрична якост (V·m-1) | 3.7x107 |
Приложения
Високотемпературно окисление/дифузия: силициево легиране (дифузия на фосфор, бор), растеж на гейтов оксид.
Отлагане на тънък слой: LPCVD поликристален силиций, отлагане от силициев нитрид (Si₃N₄).
Процес на отгряване: отгряване след йонна имплантация (RTA), метално легиране.
Полупроводник от трето поколение: силициев карбид (SiC), галиев нитрид (GaN) епитаксионен процес.
конкурентно предимство
1. Характеристики на материала
Кварц с ултрависока чистота (>99.99% SiO₂): избягва замърсяване с метални йони (Na+, K+, Fe³+ и др.) и отговаря на изискванията за чистота за напреднали процеси (<5nm възли).
Устойчивост на висока температура: продължителна работна температура от 1200°C, моментна температурна устойчивост от 1300°C, без риск от деформация или кристализация.
Химична инертност: Устойчив на технологични газове като HCl, H₂, O₂, SiH₄ и киселинни/алкални среди. Некорозивен при продължителна употреба.
2. Прецизен дизайн
Оптимизирайте структурата:
Точността на разстоянието между слотовете е ±0.05 мм, което осигурява точно позициониране на пластината (8/12 инча) и предотвратява надраскване или изместване.
Дизайн, устойчив на термичен удар, адаптиран към бързо покачване и спадане (скорост на нагряване ≤20°C/мин).
Ниско образуване на частици: Повърхността е ултрапрецизно полирана (Ra ≤0.2 μm), за да се намали прилепването и отпадането на частиците.
3. Диверсифицирана конфигурация
Капацитет (по избор): Поддържа 25 броя, 50 броя, 100 броя и други стандартни спецификации, може да се персонализира и нестандартен номер на слота.
Адаптация на типа: Отворена лодка, затворена лодка или специален тип лодка (като например дизайн на канал за отклонение на дъното на лодката).
Често задавани въпроси
В1: Можете ли да предоставите нестандартен размер или специален дизайн?
A1: Semixlab поддържа персонализирани услуги, включително регулиране на размера, горна температурна граница (необходимо е надграждане на материала) или тип интерфейс. Моля, свържете се с техническия екип на Semixlab за специфични изисквания.
Q2: Колко дълго е времето за изпълнение?
A2: Срокът за доставка на стандартни продукти е 4-6 седмици, а срокът за проектиране и проверка на персонализирани продукти е 2-3 седмици.
В3: Предоставяте ли следпродажбена техническа поддръжка?
A3: Да, ние предоставяме технически консултации през целия живот и услуги за реагиране при спешни случаи. В случай на проблеми с инсталирането или употребата, можете да се свържете с екипа за поддръжка по всяко време по имейл или телефон.
В4: Отговаря ли продуктът на стандартите на полупроводниковата индустрия?
A4: Да, производственият процес отговаря на стандартите SEMI и е сертифициран по система за управление на качеството ISO 9001. Всяка партида се тества за херметичност, устойчивост на температура и чистота, преди да напусне фабриката.
