CVD покритие от силициев карбид (SiC).

CVD SiC покритието е основно слой силициев карбид, отложен върху графит, и се използва широко в епитаксийни инструменти, където както температурата, така и чистотата са от значение. В реални производствени линии често ще го видите в системи от AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, както и някои платформи, свързани с AMAT. Това, което го прави полезно, е не само температурната устойчивост, но и цялостната стабилност по време на дълги цикли. При типични епитаксийни условия – водород, амоняк или дори хлорирани газове – покритието остава относително стабилно и защитава графита отдолу. Това помага да се поддържа по-постоянно термично поле и намалява вероятността от поява на частици по време на растеж.

В повечето случаи покритието се нанася върху части като токоприемници, държачи за пластини, графитни пръстени или компоненти с форма на полумесец. Всички те са пряко свързани с нагряването или позиционирането на пластините, така че всяка малка нестабилност може да повлияе на добива. Поради тази причина покритите части често се третират като консумативи, които все още трябва да бъдат надеждни в продължение на множество цикли, особено при производство от 4 до 12 инча.