Твърд графитен филц

Твърдият графитен филц (RGF) на Semixlab е проектиран като критична високотемпературна изолация и компонент за управление на топлината при растежа на монокристали SiC чрез физически паропренос (PVT). Проектиран за използване в производството на 4H- и 6H-SiC пластини от следващо поколение, този твърд филц съчетава ултраниска топлопроводимост, висока структурна цялост и изключителна химическа чистота, което го прави основен материал във високопроизводителни сублимационни пещи за SiC. Приложението му осигурява прецизен контрол на термичните градиенти, стабилни условия на растеж и подобрено качество на кристалите при продължителни производствени цикли.

В SiC PVT процеса, поддържането на постоянно и равномерно топлинно поле е от първостепенно значение за постигане на монокристали без дефекти. Графитният твърд филц служи като основна изолация на пещта, обграждайки сублимационния тигел и структурите на топлинното поле. Ниската му топлопроводимост намалява нежеланите топлинни загуби, поддържайки целевия температурен градиент между източника на SiC и зародишния кристал. Чрез контролиране на радиалните и аксиалните температурни профили, RGF минимизира образуването на дислокации в базалната равнина, дефекти на подреждане и микротръби, което пряко влияе върху структурната цялост и електронните характеристики на получените SiC пластини.

Освен топлоизолационните си свойства, твърдата структура на графитния филц на Semixlab осигурява механична стабилност във високотемпературни среди, надвишаващи 2000°C. За разлика от гъвкавите или меките филцове, RGF запазва формата си при продължително термично циклиране, предотвратявайки свиване или деформация, които биха могли да нарушат топлинното поле или да компрометират живота на пещта. Неговата химическа инертност осигурява минимално отделяне на частици и избягва замърсяване на SiC булата, което е от решаващо значение за производството на високосъпротивителни субстрати за силова електроника и приложения в устройства с широка забранена зона.

Произведен с помощта на високочист графитен въглерод и усъвършенствани техники за уплътняване, Semixlab Graphite Rigid Felt показва равномерна плътност, отлична размерна стабилност и дълготрайна издръжливост. Комбинацията от термични характеристики и механична твърдост позволява на фабриките за полупроводници да постигнат постоянни темпове на растеж, възпроизводими температурни профили и намалено време на престой в PVT системите. Чрез оптимизиране на термичната ефективност на пещта, RGF също допринася за икономия на енергия, като същевременно повишава еднородността и добива на пластините.

Твърдият графитен филц на Semixlab предлага производителността, чистотата и структурната стабилност, необходими за поддържане на висококачествен растеж на монокристали SiC, предоставяйки на производителите надеждно материално решение за производство на пластини от следващо поколение, удължен живот на пещта и превъзходно термично управление в екстремно високи температурни среди.