Вакуумна пещ за горещо пресоване за свързване на кристални зародиши SiC

Свързването на зародишните кристали е един от критичните процеси, влияещи върху растежа на кристалите. Въз основа на характеристиките на свързването на зародишните кристали, Semixlab разработи специализирано вакуумно оборудване за горещо пресоване за свързване на зародишни кристали. Това оборудване ефективно намалява различни дефекти, генерирани по време на процеса на свързване, като по този начин подобрява добива на свързване на зародишни кристали и крайното качество на кристалите.

Ⅰ. Въведение в оборудването за вакуумно горещо пресоване за свързване на кристали

1. Използва се за свързване на зародишни кристали преди растежа на SiC кристали;

2. Свързаните семена поддържат адхезия при 2300°C без отлепване, постигайки 100% свързване без мехурчета с висока плоскост и чисти повърхности на пластините, без адсорбция на примеси;

3. Нагревателната тава използва дисково съпротивително нагряване, осигуряващо равномерно разпределение на температурата, безопасна работа и лесно боравене;

4. Сензорите за налягане, монтирани под тавата, показват прецизно налягането, приложено върху детайла.

II. Функционален преглед на оборудването за вакуумно горещо пресоване на кристали за семена

Вакуумната пещ за горещо пресоване на зародишни кристали Semixlab е предназначена за горещо пресоване с вакуумно подпомагане на зародишни кристали силициев карбид.

1. Двуслойната метална камера с водно охлаждане ефективно намалява температурата на повърхността на пещта, минимизира опасностите от висока температура и намалява въздействието върху околната среда;

2. Способен за автоматично прилагане и задържане на налягане, постепенно натоварване и изместване с автоматизирано управление;

3. Разнообразните конфигурации на вакуумната система позволяват избор на различни нива на вакуум въз основа на изискванията на процеса;

4. Равномерно разпределение на налягането и висока прецизност на контрол на температурата;

5. Прилагането на налягане използва прецизни механични механизми за натиск за точно и стабилно подаване на налягане, осигурявайки безопасна работа и екологична съвместимост;

6. Универсалната шарнирна връзка между горната пресова глава и тягата гарантира адаптивен паралелизъм между горната глава и долната тава по време на пресоване, осигурявайки равномерно разпределение на налягането;

7. Горната пресова глава включва омекотяващо приложение на налягане за плавно и нежно подаване на сила без удар, предотвратявайки счупване на детайла;

8. Температурни сензори, интегрирани в топлопреносната плоча, взаимодействат с температурния контролер, което позволява прецизна температура на нагряване и програмно управление;

9. Както палетът, така и горната пресова глава са оборудвани с изолационни устройства за минимизиране на загубите на топлина.

Ⅲ. Производителност и характеристики на оборудването за горещо пресоване на кристали Semixlab Seed Crystal

1. Постепенно вакуумно извличане с контролирана скорост на изпомпване;

2. Голяма камера за голям потенциал за подобрение;

3. Стабилна пресова глава с автоматизирана работа;

4. Контрол на повишаване и освобождаване на налягането с автоматичен наклон на налягането и регулиране на рецептата;

5. Прецизен контрол на температурата с програмируеми цикли на температура и налягане;

6. Персонализируеми параметри на вакуум, налягане и температура за различни процеси на свързване;

7. Плътно свързване с нула мехурчета;

8. Ултранисък процент на счупване — практически никакви фрактури, причинени от устройството;

9. Съвместимост: Поддържа пластини с размер 6-12 инча;

10. Максимално налягане надолу: 1.6 T;

11. Максимален вакуум: 5 Pa (студено);

12. Heating platform temperature uniformity: <±3℃, σ<4 (at 200℃);

13. Pressure fluctuation: <0.5%.

Параметри на пещ за горещо пресоване за свързване на семена