EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Вакуумен патронник от пореста керамика
Бърз детайл:
1. Други имена: Порест керамичен вакуумен патронник, порест SiC патронник, порест патронник.
2. Приложение: Високопроизводително вакуумно адсорбционно устройство, предназначено за прецизна адсорбция и фиксиране на пластини и блокове, подходящо за производство на полупроводници, рязане на пластини, прецизна обработка, високотемпературна епитаксия, ецване, йонна имплантация и други сценарии.
3. Основни параметри:
Регулируема порьозност (10-200μm).
Ултрависока температура (≤1600°C), отлична устойчивост на термичен удар.
Адсорбционен вакуум: стандартен -90kPa (може да се персонализира до 100kPa).
Размер на вендузата: Поддържа вафли 4/6/8/12 инча, размерът на слитъците може да бъде персонализиран.
Описание
Керамичният вакуумен патронник е високоефективно вакуумно адсорбционно устройство, предназначено за прецизна адсорбция и фиксиране на пластини и блокове. Той използва композитна структура от порест керамичен + метален външен пръстен, комбиниран с персонализиран дизайн на въздушни канали и пори, за да се постигне равномерно разпределение на адсорбционната сила и висока стабилност. Подходящ е за производство на полупроводници, рязане на пластини, прецизна машинна обработка и други сценарии, поддържа висока температура, високоскоростно движение и може да отговори на изискванията за съвместимост с различни размери пластини/блокове.
Индивидуално обслужване
Персонализиране на размера и натоварването
Оптимизация на устицата и дихателните пътища
Адаптация към специална среда
Пример за дизайн
Приложения
Производство на полупроводници
Епитаксиален растеж: Стабилна адсорбция на SiC пластини при високи температури, за да се избегне деформация и замърсяване.
Литография и ецване: Прецизно позициониране във високоскоростната движеща се платформа (ускорение ≤10G), за да се гарантира точността на графичното подравняване.
Обработка на слитъци
Рязане и шлифоване: Адсорбция на тежки кристални блокове (като сапфир, силициев карбид) за потискане на напукването по ръбовете, причинено от вибрации.
Научни изследвания и специални технологии
Високотемпературно отгряване: порестите силициево-карбидни вендузи работят дълго време при 1600°C, без деформация и замърсяване от изпускане.
Вакуумно покритие: Дизайн с висока херметичност, съвместим с PVD/CVD кухина.
конкурентно предимство
Структура на сърцевината и предимства на материала
1. Многослоен композитен дизайн
Повърхностен слой: Пореста керамика (по избор порест силициев карбид или порест графит), регулируема апертура (10-200μm), за да се осигури равномерно пренасяне на адсорбционна сила към повърхността на пластината и да се избегне локална концентрация на напрежение.
Матрица: Висококачествена метална рамка (неръждаема стомана или алуминиева сплав), осигуряваща структурна опора и херметичност.
Дихателни пътища и пори: Вътрешната мрежа от прецизно обработени дихателни пътища и равномерно разпределени микропори подпомага бързата вакуумна екстракция (сила на адсорбция до -90kPa) и мигновеното освобождаване.
2. Сравнение на свойствата на материалите
| Материал | Порест силициев карбид | Порест графит |
| Температурна устойчивост | Ултрависока температура (≤1600°C), отлична устойчивост на термичен удар | Средно висока температура (≤800°C), по-добра топлопроводимост |
| Химическа устойчивост | Устойчивост на киселинна и алкална корозия, устойчивост на плазмена корозия | Устойчив на неокисляващи газове, по-ниска цена |
| Приложима сцена | Високотемпературна епитаксия, ецване, йонна имплантация | Рязане, шлифоване, опаковане на вафли |
3. Ключови параметри и технически характеристики
| Описание | Забележка |
| Размер на патронника | Поддържа вафли 4/6/8/12 инча, размерът на слитъците може да бъде персонализиран |
| Товарене | Максимално натоварване на единична плоча 50 кг (височина ≤300 мм) |
| Работна температура | Порест силициев карбид: -50°C~1600°C; Порест графит: -50°C~800°C |
| Адсорбционен вакуум | Стандартно -90kPa (с възможност за персонализиране до -100kPa) |
Често задавани въпроси
В: Как да изберем патронник от порест силициев карбид и порест графит? Какви са основните разлики между патронника от порест силициев карбид и порест графит при високотемпературни процеси? Как да изберем правилния материал за конкретния сценарий на приложение?
A: Патронник от порест силициев карбид:
Температурна устойчивост: може да работи стабилно при екстремно високи температури ≤1600°C (като SiC епитаксия, високотемпературно отгряване), отлична устойчивост на термичен удар, подходящ за условия на драстични температурни колебания.
Устойчивост на корозия: устойчива на силна киселинна, алкална и плазмена ерозия, подходяща за ецване, йонна имплантация и други корозивни газови процеси.
Патронник от порест графит:
Топлопроводимост: По-висока топлопроводимост (200-400 W/m·K), подходяща за сценарии, изискващи бърз топлопренос (като например разсейване на топлината при рязане на пластини).
Икономичност: Ниска цена, подходяща за среда със средна температура ≤800°C (като опаковане, смилане).
Предложения за избор:
Ако температурата на процеса е > 800°C или се изисква устойчивост на корозия, се предпочита порест силициев карбид; ако се търси рентабилност и ниска температура на процеса, може да се избере порест графит.
