EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Керамична вафлена лодка от силициев карбид
| Място на произход: | Китай |
| Марка Име: | Semixlab |
| Номер на модела: | TC-SIC-WB-2501 |
| Сертификация: | ISO 9001 |
| Минимално количество за поръчка: | 1 Единица |
| Цена: | Свържете се за персонализирана оферта |
| Опаковки Детайли: | Антистатична пяна + дървени каси (с възможност за персонализиране) |
| Време за доставка: | Време за доставка: 30-45 дни след потвърждение на поръчката |
| Условия за плащане: | T / T |
| Доставка умение: | 100 единици/месец |
Описание
Силициево-карбидната керамична лодка за пластини е високопроизводителен инструмент за носене, предназначен за производство на полупроводници и фотоволтаични енергийни процеси. Изработена е от високочист силициево-карбиден (SiC) керамичен материал, получен чрез усъвършенстван процес на безпресово синтероване. Тя има отлична устойчивост на високи температури, химическа стабилност и механична якост и се превръща в основен консуматив при пренос на пластини, високотемпературно отгряване и други прецизни процеси.
1. Стабилност в екстремни среди
Молекулярната структура на sic керамиката ѝ придава ултрависока термична стабилност, която може да запази структурната си цялост в непрекъсната среда с висока температура от 1650°C. В сравнение с конвенционалните кварцови или алуминиеви материали, коефициентът на термично разширение на sic керамиката е много нисък (само 4.5×10-6/°C), като ефективно се избягва деформация или напукване, причинени от резки температурни промени. В производството на полупроводници това свойство може значително да намали отклонението от изместване на пластината при високотемпературния процес и да подобри добива.
2. Несравнима устойчивост на корозия
Силициево-карбидната керамика показва силна устойчивост на силни киселини (като флуороводородна киселина, сярна киселина), силни основи и окислителни газове (Cl₂, O₂). Дори в сярна или халогенна атмосфера при 1400°C, повърхността остава гладка и без корозия, което гарантира, че по повърхността на пластината не остават замърсявания.
3. Дълъг експлоатационен живот и икономически ползи
Чрез уникалния процес на обработка с повърхностно уплътняване, износоустойчивостта на силициево-карбидната лодка е повече от 15 пъти по-висока от тази на традиционните материали. Действителният тест показва, че след 1000 цикъла в окислителна атмосфера при 1400°C, грапавостта на повърхността е все още по-ниска от 0.2 μm Ra, а времето за оборот може да достигне 5-8 пъти по-голямо от това на обикновените керамични лодки, което значително намалява честотата на спиране и подмяна на оборудването, а цялостното спестяване на разходи е над 30%.
Бърз детайл:
1. Други наименования: силициево-карбидна кристална лодка, полупроводников керамичен носител.
2. Приложение: Използва се при високотемпературни процеси на дифузия, окисление и отгряване в производството на полупроводници за пренасяне на силициеви пластини и осигуряване на равномерно разпределение на топлината.
3. Основни параметри: чистота ≥99.99%, максимална температурна устойчивост 1500℃, нисък коефициент на термично разширение (4.5×10-6/℃), силна устойчивост на термичен удар.
Характеристики
| Физични свойства на синтерован силициев карбид | |
| Имот | Типична стойност |
| Химичен състав | SiC>98% |
| Обемна плътност | >3.07 g/cm³ |
| Видима порьозност Видима порьозност | |
| Модул на разрушаване при 20 ℃ | 270 MPa |
| Модул на разрушаване при 1200 ℃ | 290 MPa |
| Твърдост при 20℃ | 2400 XNUMX Kg/mm² |
| Якост на счупване при 20% | 3.3 MPa · m1/2 |
| Топлопроводимост при 1200 ℃ | 45 w/m·K |
| Термично разширение при 20-1200 ℃ | 4.5 × 10-6/℃ |
| Максимална работна температура | 1400 ℃ |
| Устойчивост на термичен удар при 1200 ℃ | добър |
| Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
| Имот | Типична стойност |
| Работна температура (° C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
| Съдържание на SiC | > 99.96% |
| Безплатно Si съдържание | <0.1% |
| Обемна плътност | 2.60-2.70 g/cm3 |
| Видима порьозност | <16% |
| Сила на натиск | > 600 MPa |
| Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
| Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
| Термично разширение @1500°C | 4.7x10-6/ ° C |
| Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m·K |
| Еластичен модул | 240 GPa |
| Устойчивост на топлинен удар | Изключително добър |
Приложения
Високотемпературна термична обработка на полупроводникови пластини (окисление, отгряване, легиране).
Покриване и синтероване на пластини във фотоволтаичната индустрия.
конкурентно предимство
Ултрависока температурна стабилност: дългосрочна устойчивост на висока температура от 1500°C, без деформация или загуба на производителност.
Дизайн с ниско замърсяване: материал с висока чистота + незалепващ процес, избягвайте замърсяване с метални йони.
Дълъг живот: отлична устойчивост на термичен удар, по-дълъг експлоатационен живот от кварцовия носител 3-5 пъти.
Гъвкаво персонализиране: размер на опората, разстояние между слотовете, персонализиране на дълбочината на повърхностната обработка.
