Кварцова дифузионна тръба с висока чистота

Дифузионната тръба от кварц с висока чистота Semixlab е специално проектирана за високотемпературни термични процеси в производството на полупроводници, включително окисление, дифузия на добавки и отгряване.

Изработена от свръхвисокочист стопен силициев диоксид (≥99.99% SiO₂), всяка тръба е проектирана да осигурява изключителна химическа стабилност, минимално замърсяване и прецизна термична равномерност, което гарантира постоянни резултати при обработка на пластини в условия на чисти помещения.

Независимо дали са интегрирани във вертикални или хоризонтални дифузионни пещи, кварцовите тръби на Semixlab са прецизно оформени и щателно тествани, за да отговарят на строгите изисквания за производство на интегрални схеми, светодиоди, MEMS и силови устройства.

Приложения в полупроводниковите процеси

1. Термично окисление

В пещите за термично окисление, кварцовите дифузионни тръби действат като основна реакционна камера, където силициевите пластини се излагат на пари от O₂ или H₂O при повишени температури (900–1150°C).

● Осигурява чиста и стабилна кислородна среда за равномерен растеж на SiO₂.

● Елиминира замърсяването с метални йони, осигурявайки висока диелектрична цялост на гейта и изолационните оксиди.

Кварцова дифузионна тръба с висока чистота е идеална за обработка на пластини

2. Дифузия на допанти

Кварцовите дифузионни тръби се използват за дифузия на допиращи атоми (като фосфор или бор) в силициевия субстрат, за да се създадат желаните профили на прехода.

● Отличната химическа инертност предотвратява замърсяване по време на реакции с POCl₃ или BBr₃.

● Поддържа висока чистота дори в халогенни атмосфери.

3. Процеси на отгряване и вграждане

След йонна имплантация или отлагане, пластините се подлагат на високотемпературно отгряване, за да се активират добавките и да се поправят повредите в решетката.

● Кварцовите тръби осигуряват термично равномерна камера с ниско замърсяване за стабилни и възпроизводими резултати.

● Подходящ както за отгряване в среда с N₂, така и с формовъчен газ.

4. LPCVD и научноизследователска и развойна дейност в областта на термичната обработка

В малки LPCVD или изследователски пещи, кварцовите дифузионни тръби могат да служат както като реакционна, така и като задържаща камера.

● Идеален за отлагане на полисилиций, силициев нитрид и оксидни филми.

● Осигурява ниско образуване на частици и висока повторяемост в различните серии.

Предимства на Semixlab

1. Чистота и проследимост на материалите

Всяка кварцова тръба е изработена от ултрачист разтопен силициев диоксид, доставян от сертифицирани доставчици. Доклади от ICP-MS анализ се предоставят при поискване, което гарантира проследимостта на всяка партида.

2. Прецизно производство и персонализиране

Semixlab предлага персонализирани проекти, които отговарят на специфичните размери на пещта, термичните профили и моделите на газовия поток, изисквани от клиентите.

Вариантите включват:

● Вертикални или хоризонтални конфигурации на тръбите

● Персонализирани диаметри, дебелини на стените и крайни фланци

● Полирани или гравирани повърхностни покрития

● Специални конструкции за работа с многослойни държачи за пластини

3. Строго тестване и осигуряване на качеството

Всяка дифузионна тръба преминава през проверка на размерите, тестване за целостта на повърхността и симулация на термично напрежение преди доставка. Това гарантира съвместимост с водещи в индустрията дифузионни пещни системи като TEL, Kokusai, Centrotherm и ASM.