Кварцова вафлена лодка с висока чистота

Кварцовата вафлена лодка с висока чистота е направена от синтетичен кварцов пясък чрез процес на дъгово топене, който има много нисък коефициент на топлинно разширение и отлична устойчивост на термичен удар, за да се гарантира, че няма риск от деформация или напукване в процеса на бързо издигане и падане. Повърхността е прецизно полирана, за да се намали замърсяването с частици, подходяща за суровата и чиста среда при производството на полупроводници. Продуктът поддържа персонализиран размер (дължина 100-500 mm, брой слотове 2-24) и се адаптира към различни размери на пластини (4 "-12").

1. Характеристики на основния материал

Процес на дъгово топене на синтетичен кварцов пясък

Използвайки кварцов пясък със свръхвисока чистота (SiO₂ чистота ≥99.999%), структурата на аморфно кварцово стъкло се формира чрез технология за дъгово топене. Този процес елиминира дефектите по границите на зърната, значително подобрява еднородността на материала и гарантира, че пластинките остават стабилни при високи температури (≤1250 °C).

Ултра нисък коефициент на топлинно разширение

Коефициентът на топлинно разширение е толкова нисък, колкото 5.5×10^-7K^-1(20-300 °C), което позволява почти никаква промяна на размера по време на бързо покачване и спадане на температурата (напр. 200 °C /min в полупроводникови процеси), избягване на микропукнатини или деформация, дължащи се на топлинен стрес.

Оптимизиране на устойчивостта на термичен удар

Чрез процеса на градиентно отгряване, толерантната температурна разлика на топлинен шок може да достигне 1200℃→ стайна температура за повече от 100 цикъла без напукване, отговаряйки на строгите изисквания за йонна имплантация, бързо отгряване и други процеси.

2. Прецизна обработка и повърхностна обработка

Наномащабна технология за полиране

Грапавостта на повърхността се контролира при Ra≤0.2μm и се използва химично механично полиране (CMP), комбинирано с плазмено ецване, за ефективно намаляване на адсорбцията на частици, а чистотата е в съответствие със стандарта SEMI F47 (брой на частиците ≤10 /[имейл защитен]μm).

Покритие против замърсяване (по избор)

Повърхностното покритие от силициев карбид или силициев нитрид може да бъде персонализирано, за да намали коефициента на триене на контактната повърхност на пластината (μ≤0.05), намалявайки риска от драскотини и миграция на метални йони.

Бърз детайл:

1. Други имена: Кварцова лодка, вафлена скоба.

2. Приложение: Пренасяне и предаване при високотемпературен процес на полупроводникова пластина, подходяща за дифузия, окисление и други процеси.

3. Основни параметри: чистота ≥99.99%, максимална температурна устойчивост 1200 ℃, коефициент на топлинно разширение 5.5×10^-7/℃.

1. Обработка на полупроводникови пластини (дифузионна пещ, окислителна пещ).

2. Фотоволтаична индустрия за обработка на силициеви пластини.

3. Лабораторен високотемпературен експериментален вафлен лагер.

Водеща чистота в индустрията, съдържание на метални примеси <1ppm.

Дълъг експлоатационен живот (≥500 цикъла на висока температура).

Поддръжка на нестандартно персонализиране, кратък цикъл на доставка.