Графитен държач със SiC покритие за ICP

Многопластова Si епитаксиална обработка на платформа

Графитният държач Semixlab SiC Coated за ICP е проектиран специално за индуктивно свързано плазмено ецване и отлагане. Използва високочист графитен субстрат, комбиниран с процес на силициево-карбидно покритие, за да осигури отлична устойчивост на високи температури, устойчивост на корозия и устойчивост на окисляване. Подходящ е за тежки аналитични среди, като значително удължава живота на компонентите и намалява разходите за поддръжка. В същото време гарантираме строг контрол на качеството, персонализирани услуги и бърза доставка.

Приложение:

Графитният държач със SiC покритие е ключов компонент в процесите на ецване и отлагане на полупроводници с индуктивно свързана плазма (ICP), поради високата си чистота, устойчивост на висока температура и отлична устойчивост на плазмена ерозия.

Услуги, които могат да бъдат предоставени:

анализ на сценарии на клиентски приложения, съчетаване на материали, решаване на технически проблеми.

Профил на компанията:

Semixlab разполага с 2 лаборатории, екип от експерти с 20 години опит в материалите, с възможности за научноизследователска и развойна дейност, производство, тестване и проверка.

Технически параметри

Основни полета за прилагане

Одобрение за проверка на екологичната верига

Държачът Semixlab SiC Coated Graphite за проверка на екологичната верига на ICP обхваща целия процес - от суровини до производство, преминал е международен стандартен сертификат и разполага с редица патентовани технологии, гарантиращи неговата надеждност и устойчивост в областта на полупроводниците и новите енергийни технологии.

За подробни технически спецификации, информационни документи или договорености за тестване на проби, моля, свържете се с нашия екип за техническа поддръжка, за да обсъдите как Semixlab може да подобри ефективността на вашите процеси.

Държач за ICP с графит Semixlab SiC покритие, основен предимство

Супер устойчивост на корозия

Графитните държачи с покритие от SiC използват процес на химическо отлагане от пари, за да образуват плътен защитен слой от силициев карбид върху графитната повърхност, като ефективно устояват на корозия от силни киселини, основи и органични разтворители. В сравнение с традиционните графитни или метални държачи, тези държачи са по-стабилни при работа с силно корозивни проби, предотвратявайки замърсяване поради разграждане на материала. Те са особено подходящи за ICP приложения, включващи дългосрочно излагане на корозивни среди.

Стабилна висока температура

В среда на високотемпературна ICP плазма, обикновеният графит лесно се окислява и аблатира, но SiC покритието значително инхибира реакцията между графитния субстрат и кислорода. Неговата устойчивост на високи температури гарантира, че държачът запазва структурната си цялост при дългосрочни високотемпературни работни условия, предотвратявайки влошаване на производителността на инструмента поради термична деформация или загуба на материал. Той е особено подходящ за нуждите от непрекъснато тестване на високопроизводителни лаборатории.

Висока механична якост

SiC има твърдост, близка до тази на диаманта, а покритието му значително подобрява износоустойчивостта на по-твърдата повърхност. При ICP, SiC покритията намаляват износването на повърхността и увеличават прецизността на прилягане на ключовите компоненти, като по този начин поддържат стабилна ефективност на йонното предаване и намаляват честотата на подмяна.

Рентабилен

В сравнение с чистия SiC или платината, графитът със SiC покритие поддържа отлични характеристики, като същевременно намалява разходите с 30%-50%. Животът му е 3-5 пъти по-дълъг от този на обикновените графитни държачи, което значително намалява времето за престой и консумативите. Това е оптимално рентабилно решение, особено за лаборатории с ограничен бюджет, които изискват дългосрочна стабилна работа.