EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Графитен нагревател с SiC покритие за MOCVD
Нагревателят Semixlab SiC Coated Graphite MOCVD е високоефективен нагревател, предназначен за процеси на производство на полупроводници, който използва химическо отлагане от пари (CVD), за да образува равномерно, плътно силициево-карбидно (SiC) покритие върху повърхността на графитен субстрат с ултрависока чистота.
Описание
Продукти Детайли
MOCVD нагревателят с графитно покритие SiC съчетава отличната топлопроводимост на графита с високата температурна и корозионна устойчивост на SiC покритията и се използва широко в оборудването за металоорганично химическо отлагане от пари (MOCVD), за да осигури стабилност и висока чистота в процесите на епитаксиален растеж на пластини.
Характеристики на продукта за нагревател MOCVD с графит и SiC покритие
1. Ултрависока чистота и химическа стабилност
Чистота ≥99.99995%: Нашият графитен нагревател се приготвя чрез хлориране при висока температура чрез CVD процес, което ефективно избягва замърсяването с метални примеси и отговаря на изискванията за ултрачиста среда в производството на полупроводници.
Антихимична корозия: Плътното и високо твърдо SiC покритие (твърдост по Викерс 2500-2800) може да устои на ерозията на киселини, основи, соли и органични разтворители, което удължава експлоатационния живот на оборудването в корозивна газова среда.
2. Отлична устойчивост на висока температура
Стабилност при висока температура: може да издържи до 3000°C в инертна атмосфера, стабилна работа до 2200°C във вакуумна среда и 1600-1700°C в окислителна среда, което е подходящо за екстремни условия на реакционната камера MOCVD.
Нисък коефициент на термично разширение (4.5 x 10⁶K-¹): Тази характеристика на графитния нагревател MOCVD ефективно намалява напукването или лющенето на покритието поради температурни промени, осигурявайки структурна цялост при дългосрочно термично циклиране.
3. Оптимизирано управление на температурата
Висока топлопроводимост (200-300 W/mK): Високата топлопроводимост на графитния MOCVD нагревател определя, че продуктът може бързо и равномерно да пренася топлина, за да постигне равномерно разпределение на температурата на повърхността на пластината (±1°C), като по този начин ефективно подобрява еднородността на епитаксиалния слой.
Проектиране на ламинарен газов поток: След непрекъсната итерация и модернизация на технологиите, гладкостта на повърхността (Ra ≤ 0.8μm) и оптимизацията на геометрията на нашия MOCVD нагревател осигуряват равномерно разпределение на реактивните газове и намаляват неравномерността на отлагането, причинена от турбулентност.
Характеристики
Сравнение на техническите параметри и предимства
| Характеристики | Нагреватели Semixlab с SiC покритие | Конвенционални графитни нагреватели |
| Максимална работна температура (инертен) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Химическа чистота | ≥ 99.99995% | ≤ 99.99 |
| Топлопроводимост | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Адхезия на покритието | 415 MPa (4-точково огъване) | 100-200 MPa |
| Типичен жизнен цикъл (цикли) | > 500 цикъла | 100-200 цикъла |
конкурентно предимство
Защо Semixlab?
Персонализиране: Semixlab се ангажира да предоставя персонализирани продукти и технически услуги на нашите клиенти. Ние поддържаме персонализиране на нестандартни размери (до 360 мм диаметър) и дебелини на покритието (20-500 μm), за да отговорим на широк спектър от нужди на оборудването.
Глобална сертификация: Нашият нагревател от графит със SiC покритие е SEMI съвместим, сертифициран по ISO 9001, а нашите продукти се изнасят главно за Европа и Съединените щати, както и за Япония и Южна Корея, със значително предимство в съотношението цена/производителност.
Техническа синергия: Semixlab отдавна поддържа тясно сътрудничество с водещи изследователски институции в Китай, използвайки патентовани технологии за покритие (като например SiC³ процеса на CGT Carbon), за да оптимизира плътността на покритието и устойчивостта на термични удари.
