Кварцов диск за полупроводников процес

Полупроводниковата индустрия изисква компоненти с изключителна чистота и прецизност. Кварцовите дискове са крайъгълен камък в тази област, играейки ключова роля в различни високотемпературни и химически взискателни процеси за производство на полупроводници. Кварцовите дискове Semixlab за полупроводникови процеси са проектирани от високочист синтетичен разтопен силициев диоксид (SiO2), за да осигурят изключителна термична стабилност, химическа устойчивост и ултраниско замърсяване. Тези полупроводникови кварцови дискове се използват при CVD отлагане на тънки филми, ALD, PVD разпрашване, дифузия/отгряване, RTP, плазмено ецване (RIE/ICP).

Свойства и характеристики на материала

Нашите полупроводникови кварцови дискове са изработени от високочист стопен кварц, материал, известен с изключителните си свойства. Ключовите характеристики на нашите кварцови дискове включват:

● Висока чистота: Съдържайки минимално количество примеси, нашите кварцови дискове предотвратяват замърсяване на чувствителни полупроводникови пластини, което е от съществено значение за поддържане на целостта и добива на устройството.

● Отлична термична стабилност: С нисък коефициент на термично разширение, кварцовите дискове могат да издържат на екстремни температурни колебания без напукване или деформация. Това ги прави идеални за високотемпературни процеси като отгряване, дифузия и окисление.

● Химическа инертност: Кварцът е силно устойчив на повечето киселини и химикали, използвани в обработката на полупроводници, включително флуороводородна киселина (HF) и сярна киселина (H2SO4). Тази химическа инертност осигурява стабилна и нереактивна среда за пластините.

● Висока прозрачност: Разтопеният кварц има висока прозрачност за ултравиолетова (UV) светлина, което е от решаващо значение за фотолитографията и други оптични процеси.

Нашите кварцови дискове се предлагат в различни размери и дебелини, с типични параметри, включително:

● Чистота: >99.995%

● Коефициент на термично разширение: ~0.54 x 10−6/°C (при 20-300°C)

● Точка на омекване: ~1600°C

● Налични диаметри: До 300 мм

Приложения в производството на полупроводници

Кварцовите дискове с висока чистота са незаменими в няколко ключови полупроводникови процеса. Техните специфични приложения включват:

● CVD (Химическо отлагане от пари): Кварцовите дискове се използват като токоприемни плочи или облицовки в CVD реактори. Тяхната термична стабилност и химическа инертност осигуряват равномерно нагряване и среда без замърсяване за процесите на отлагане на тънки филми.

● PVD (Физическо отлагане от пари): В PVD процеси, като например разпрашване, кварцовите дискове служат като подложки за мишени или държачи за субстрати. Те могат да издържат на високата кинетична енергия на процеса на отлагане, като същевременно запазват размерната стабилност.

● Окисление и дифузия: Като облицовка за пещи или като компонент на лодка за пластини, кварцовите дискове са неразделна част от процесите на високотемпературно окисление и дифузия. Те предотвратяват достигането на метално замърсяване от стените на пещта до силициевите пластини.

● Отгряване: Кварцовите дискове осигуряват чиста и стабилна повърхност за термично отгряване, процес, използван за поправяне на увреждания на кристалната решетка и активиране на добавки в полупроводникови устройства.

Semixlab Advantage: Вашият партньор в производството на полупроводници

В Semixlab ние сме повече от просто производител на полупроводникови кварцови дискове. Ние сме партньор, отдаден на вашия успех, предлагащ набор от услуги, предназначени да рационализират вашите операции и да подобрят ефективността на вашите процеси.

● Персонализиране: Разбираме, че всеки производствен процес е уникален. Нашият екип може да изработи кварцови дискове по поръчка, съобразени с вашите специфични изисквания за размери, чистота или приложение.

● Техническа консултация: Нашите технически експерти предоставят задълбочени консултации, за да ви помогнат да изберете идеалния кварцов продукт за вашия специфичен процес, осигурявайки оптимална производителност и дълготрайност.

● Бързо прототипиране и услуга за вземане на проби: Предлагаме бързи срокове за изработка на прототипи и мостри, което ви позволява да тествате и валидирате нашите продукти бързо и ефикасно. Това ускорява вашите цикли на научноизследователска и развойна дейност и намалява времето за пускане на пазара.

За технологични инженери и купувачи, търсещи надеждни носещи плочи, изолационни екрани и оптични опори, Semixlab предлага кварцови дискове с висока точност и ниско ниво на дефекти, които подобряват добива и удължават времето за работа на инструментите. Искрено се радваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.