Лодка от SiC с висока чистота

Високочистата силициево-карбидна (SiC) лодка е високоефективен керамичен носител, предназначен за високотемпературни полупроводникови процеси, растеж на кристали и прецизна термична обработка. Тя е синтерована с ултрависокочист SiC материал и има отлична устойчивост на високи температури, устойчивост на термични удари и химическа стабилност. Широко се използва в дифузия на полупроводници, CVD, LED епитаксия и растеж на фотоволтаични монокристали.

Приложение:

Високочистият SiC Boat е ключов консуматив за полупроводникови процеси, използван главно за пренасяне и трансфер на пластини във високотемпературни среди и е широко използван в дифузионни, окислителни, отгряващи и CVD процеси на силициеви пластини. Той е особено подходящ за високотемпературни процеси на полупроводници от трето поколение (като SiC/GaN) и силови устройства.

Услуги, които могат да бъдат предоставени:

анализ на сценарии на клиентски приложения, съчетаване на материали, решаване на технически проблеми.

Профил на компанията:

Semixlab разполага с 2 лаборатории, екип от експерти с 20 години опит в материалите, с възможности за научноизследователска и развойна дейност, производство, тестване и проверка.

Технически параметри

Основни полета за прилагане

Одобрение за проверка на екологичната верига

Екологичната верига на Semixlab High-Purity SiC Boat обхваща целия процес - от суровините до производството, преминала е сертифициране по международни стандарти и разполага с редица патентовани технологии, гарантиращи нейната надеждност и устойчивост в областта на полупроводниците и новите енергийни технологии.

Типичен процес на кандидатстване

Подготовка на суровината (SiC прах с висока чистота) → Процес на формоване (сухо пресоване/изостатично пресоване) → Процес на синтероване → Машинна обработка и повърхностна обработка (CNC шлайфане/полиране, химическо ецване, отгряване) → Пречистване и CVD покритие → Контрол на качеството → Опаковка

Чрез авангардна оптимизация на параметрите на процеса, уникалният структурен дизайн на Semixlab High-Purity SiC Boat осигурява отлична стабилност на пластината, като същевременно значително намалява риска от замърсяване с частици. Експлоатационният му живот може да достигне 5-8 пъти по-дълъг от този на традиционните кварцови лодки, което го прави идеално решение за високотемпературна обработка на пластини. Тази иновация му позволява постепенно да замени вноса на пазара на полупроводници, осигурявайки високопроизводително и рентабилно вътрешно решение.

За подробни технически спецификации, информационни документи или договорености за тестване на проби, моля, свържете се с нашия екип за техническа поддръжка, за да обсъдите как Semixlab може да подобри ефективността на вашите процеси.

Предимства на Semixlab High-Purity SiC Boat Core

1. Изключителна чистота (ключово предимство)

Semixlab High-Purity SiC Boat има ултрависока чистота (≥99.9999%), а съдържанието на примеси (Fe, Al, Na и др.) се контролира на ниво 1 ppm, за да се избегне замърсяване на пластини или епитаксиални материали, което е особено подходящо за производство на SiC/GaN полупроводници.

2. Химическа инертност (устойчивост на корозия)

Устойчив на киселинна, алкална/плазмена ерозия и може да издържи на корозивни газове като HF, HCl, H2 (като например процеси на ецване на полупроводници). Не отделя газ при високи температури.

3. Механична якост и експлоатационен живот

Ултрависока твърдост, отлична износоустойчивост, намалява риска от отделяне на частици и удължава експлоатационния живот (обикновено 3 до 5 пъти повече от този на кварцова лодка). Не се деформира лесно при високи температури, запазвайки плоскост на пластината (като например деформация в дифузионна пещ <0.1 мм).

4. Съвместимост на процесите

Адаптивен към различни тежки среди, окислително-редукционни атмосфери (като O2, H2, Ar) и CVD/PVD процеси на покритие. Повърхността може да бъде персонализирана, например чрез полиране (Ra<0.1μm) или покритие (като SiO2) за допълнително намаляване на замърсяването.