SiC керамика

SiC керамиката се използва все по-често в полупроводниковото оборудване, главно защото издържа по-добре на по-тежки условия. Когато температурата се повиши или процесът стане по-агресивен, материали като кварц или силиций могат да започнат да показват ограничения и тук обикновено се намесва SiC. В пещни процеси като окисление или дифузия, части като лодки за пластини или лопатки, изработени от SiC, са склонни да издържат по-дълго. Те запазват формата си и не замърсяват много, дори след дълги цикли. Хората често преминават от кварц поради тази причина, особено когато поддръжката стане твърде честа.

За ецване, SiC често се избира, просто защото оцелява в плазмата по-дълго. Разликата в живота в сравнение със силициевите части е забележима в много конфигурации, въпреки че все още зависи от точния процес. Също така помага малко с контрола на частиците, който става по-чувствителен със свиването на възлите. Ще видите SiC, използван и като токусепери в MOCVD или CVD. В тези случаи става въпрос по-малко за „здравина“ и повече за поддържане на стабилно температурно поведение. Извън това, той се появява в части на камерата, като облицовки или душове, а понякога и в компоненти за работа.